【48812】华海清科取得实用新型专利授权：“一种化学机械抛光体系”

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现华海清科（688120）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种化学机械抛光体系”，专利申请号为CN0.X，授权日为2024年6月14日。

  专利摘要：本实用新型揭露了一种化学机械抛光体系，所述化学机械抛光体系包含前置单元、抛光单元和清洗单元，三者模块化摆放设置；所述抛光单元包含抛光盘和装卸部，所述装卸部设置于抛光盘的侧方，所述装卸部的外周侧装备有抛光冲洗组件，以清洁完结抛光的晶圆；所述抛光冲洗组件包含第一摆臂，第一摆臂的端部装备有第一刷头和第二刷头，其别离设置于第一摆臂的上侧和下侧，以别离预清洁晶圆的正面和反面。

  今年以来华海清科新取得专利授权19个，较去年同期减少了71.64%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了3.04亿元，同比增40.33%。

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